等離子體是物質的一種存在狀態,通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在,但在一些特殊的情況下有第四中狀態存在,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態。
等離子清洗/刻蝕技術是等離子體特殊性質的具體應用:
等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發出輝光,故稱之為輝光放電處理。
等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為等離子態;氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。 等離子體清洗技術的最大特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。
等離子體清洗還具有以下幾個特點:容易采用數控技術,自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。
等離子清洗機已經步入人們的視野,也并不陌生了,它應用領域之廣是顯而易見的,主要包括:
等離子清洗機運用之一:汽車制造行業:EPDM密封條、植絨和涂層前預處理,汽車儀表;汽車前燈PP底座,溝槽粘結前預處理。
等離子清洗機運用之二:塑料橡膠行業:在生產線上塑料瓶貼標簽前處理濕粘系統替代熱熔和擴散; PP薄膜單面預處理穩定持久,可用于水基分散性粘結劑;塑料手機外殼以及助動車外殼,油漆前處理。
等離子清洗機運用之三:光電制造行業:柔性和非柔性印刷電路板觸點清潔LCD熒光燈管“觸點”清潔。
等離子清洗機運用之四:金屬及涂裝行業:鋁的型材進行預處理替代打毛、打底漆,得到穩定氧化層;鋁箔去除潤滑油--無濕化學處理方法;不銹鋼激光焊接前處理。
等離子清洗機運用之五:化纖及紡織行業 :纖維進行預處理速度可達60米/分;玻璃表面和鏡面粘結前平面清潔。
等離子清洗機運用之六:印刷及噴碼行業:PP材料,HD-PE絲網印刷,聚酰胺(噴墨印刷)前處理;等等。
等離子清洗機的主要特點是
1.噴射出的等離子體流為中性,不帶電 ,可以對各種高分子、金屬、半導體、橡膠、PCB電路板等材料進行表面處理。
2. 提高塑料件粘接后剪切強度,例如PP材料處理達50倍,大部分塑料件處理后可使表面能量達到72mN/m;
3. 等離子體處理后表面性能持久穩定,保持時間長;
4. 干式方法處理無污染,無廢水,符合環保要求;
5. 可以在生產線上在線運行處理,降低成本。
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