有兩種堿性方法可以使表面帶上特定的化學基團。一種方法是通過PEC V D沉積含有所需官能團的涂層，另一種方法是使現有的官能團產生等離子體并使之能夠結合在表面上。雖然后面的方法更加簡單，但前者具有更高的表面官能團濃度（10%-20%）。使用氨氣作為原料氣可以在表面上結合-NH3。甲醇用來結合羥基，同時使用甲醇和CO2可以提供羧基。不幸的是，沉積這些官能團同時會發生一些副反應，從而改變主官能團。例如，氨氣等離子體在沉積伯氨基的同時也會沉積季氨、叔胺、腈、亞胺等。這些基團的比例根據等離子體系統和使用的參數變化而變化。盡管如此，這種方法也可提供2-8%的所需官能團。